STEP에서 진행하는 나준홍(경남대학교 전기공학과, 조교수)의 반도체 제조 개론이다.
학습기간은 2024-05-15 ~ 2024-06-14이다.
이 강좌는 반도체 제조에 필요한 단위 소자의 구조 및 특징, 단위 공정의 필요성과 연계성 등, 전반적인 내용에 대한 지식을 함양을 목표로 한다.
목차 및 세부 강의 내용
1 | 반도체 분야와 개념 이해하기 |
1강 정리 내용 바로가기 : https://nate0707.tistory.com/23 | |
반도체의 개념과 분류 | |
반도체 제조 공정과 소자 | |
평가하기 | |
2 | 반도체 단위 소자의 기본 구조 및 동작 원리 |
2강 정리 내용 바로가기 : https://nate0707.tistory.com/24 | |
가장 기초적인 반도체 소자 : PN 접합과 다이오드 | |
MOS 커패시터 구조와 동작 원리 | |
MOSFET 구조와 동작 원리 | |
평가하기 | |
3 | 반도체 단위 소자의 동작 파라미터 |
3강 정리 내용 바로가기 : https://nate0707.tistory.com/25 |
|
MOSFET 반도체 소자의 전류-전압 특성 분석 | |
MOSFET 반도체 소자의 동작 파라미터 | |
평가하기 | |
4 | 차세대 반도체 단위 소자의 특징과 종류 |
4강 정리 내용 바로가기 : https://nate0707.tistory.com/26 | |
MOSFET 반도체 소자의 용도 | |
다양한 형태의 차세대 MOSFET 반도체 소자 | |
평가하기 | |
5 | 실리콘 웨이퍼의 필요성 |
5강 정리 내용 바로가기 : https://nate0707.tistory.com/27 | |
실리콘 소재의 특징 | |
실리콘 잉곳 생산 방법 | |
실리콘 웨이퍼 생산 과정 | |
평가하기 | |
6 | 반도체 공정 및 시설에 대한 이해 |
6강 정리 내용 바로가기 : https://nate0707.tistory.com/29 | |
반도체 IC Chip 제조 과정 개요 | |
반도체 공정에서 수율 및 청정실의 개념 | |
반도체 공정 장비 및 시설 종류와 기본 구조 | |
평가하기 | |
7 | 포토리소그래피 공정 |
7강 정리 내용 바로가기 : https://nate0707.tistory.com/30 | |
반도체 IC Chip 제조 과정에서 포토리소그래피 공정의 개요 | |
포토레지스트의 구성 및 개요 | |
포토리소그래피 공정 과정 | |
리소그래피 기술의 중요 파라미터 및 트렌드 | |
평가하기 | |
8 | 반도체 열처리 공정 |
8강 정리 내용 바로가기 : https://nate0707.tistory.com/31 | |
반도체 IC Chip 제조 과정에서 열처리 공정의 개요 | |
열처리 공정의 종류 및 특징 | |
평가하기 | |
9 | 반도체 이온주입 공정 |
9강 정리 내용 바로가기 : https://nate0707.tistory.com/33 | |
반도체 IC Chip 제조 과정에서 이온주입 공정의 개요 | |
이온주입의 기초 및 주요 현상 | |
이온주입 공정의 적용 | |
평가하기 | |
10 | 반도체 식각 공정 |
10강 정리 내용 바로가기 : https://nate0707.tistory.com/34 | |
반도체 IC Chip 제조 과정에서 식각 공정의 개요와 중요 파라미터 | |
습식 식각 공정의 기본 | |
건식 식각 공정의 기본 | |
평가하기 | |
11 | 반도체 화학 기상 증착(CVD) 공정과 유전체 박막 |
11강 정리 내용 바로가기 : https://nate0707.tistory.com/36 | |
반도체 IC Chip 제조 과정에서 CVD 공정의 개요와 기본 개념 | |
CVD 공정의 중요 현상과 파라미터 이해 | |
평가하기 | |
12 | 반도체 CMP 공정 |
12강 정리 내용 바로가기 : https://nate0707.tistory.com/37 | |
반도체 IC Chip 제조 과정에서 CMP 공정의 개요와 기본 개념 | |
CMP 공정을 포함하는 표면 평탄화 공정의 종류 | |
CMP 공정의 세부 요소 및 응용 예시 | |
평가하기 |
수식 쓰는 사이트 : https://www.sciweavers.org/free-online-latex-equation-editor
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